晶瑞股份購得光刻機 可用于研發(fā)28nm高端光刻膠

晶瑞股份今日發(fā)布公告：經(jīng)多方協(xié)商、積極運作，該公司順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機一臺。

該光刻機于 2021 年 1 月 19 日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室，即將組織調(diào)試。此外，這款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻機可用于研發(fā)最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。

IT之家了解到，晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚發(fā)布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，擬通過 Singtest Technology PTE. LTD. 進口韓國 SK Hynix 的 ASML 光刻機設(shè)備，總價款為 1102.5 萬美元(折合 7508 萬人民幣)。

ASML XT 1900 Gi 型光刻機并非先進工藝光刻機，但也實屬不易，在這關(guān)鍵時刻也算意義重大。