中微公司披露 2020 年業績快報，報告顯示，中微營業收入22.73 億元，較上年同期增長16.76%;歸屬于母公司所有者的凈利潤 4.92 億元，較上年同期增長161.02%;歸屬于母公司所有者的扣除非經常性損益的凈利潤為 2331.94萬元，較上年同期減少 84.19%。
營收方面，中微公司 2020 年刻蝕設備收入為 12.89億元，同比增長約 58.49%;由于市場原因，中微公司 2020年MOCVD設備收入為4.96億元，同比下降約 34.47%。
報告稱，2020 年中微公司營業利潤、利潤總額和歸屬于母公司所有者的凈利潤較上年同期分別增長164.54%、162.85% 和161.02%，主要有兩方面原因：一是中微公司 2020年投資青島聚源芯星股權投資合伙企業(有限合伙)3億元而間接持有中芯國際科創板股票，因中芯國際股價變動導致公司產生公允價值變動收益約2.62億元。另外，中微公司 2020年計入非經常性損益的政府補助較 2019 年增加約2.26億元。
此外，歸屬于中微母公司所有者的扣除非經常性損益的凈利潤較上年同期減少84.04%，主要系中微公司 2020 年因實施股權激勵計劃產生股份支付費用約1.24億元(屬于經常性損益)，2019年無該類費用發生。若剔除股份支付費用的影響，2020年歸屬于母公司所有者的扣除非經常性損益的凈利潤約為1.47億元，較上年同期約減少0.43%。
