中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(簡稱“中微公司”)宣布推出為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設(shè)計的 Prismo UniMax MOCVD 設(shè)備。
中微公司表示，該設(shè)備在幫助 LED 芯片制造商提高產(chǎn)能的同時能夠有效地降低生產(chǎn)成本。
據(jù)介紹，中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設(shè)備已進入全球大多數(shù)氮化鎵基藍(lán)綠光 LED 制造商，此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設(shè)備的最新產(chǎn)品，該設(shè)備在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá) 4 個反應(yīng)腔。Prismo UniMax 配置了多區(qū)溫度補償加熱系統(tǒng)，具備波長均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性。
該設(shè)備還具有其他一些特征，如通過石墨盤晶片排布的最優(yōu)化，其加工容量可以延伸到生長 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。
IT之家獲悉，中微公司 Prismo UniMax MOCVD 設(shè)備已收到來自國內(nèi)客戶的訂單。
