2021年11月5日，中國上海——11月5日至10日，全球芯片光刻技術的領導者ASML（阿斯麥）再度亮相第四屆中國國際進口博覽會（以下簡稱“進博會”）， 展臺號4.1 A1-001。 ASML以“光刻未來，攜手同行”為主題，首次在進博會平臺上以視頻形式展示了光刻機內部各個模塊之間的基本原理，并展示了ASML“鐵三角”業(yè)務——全方位光刻解決方案，持續(xù)傳遞ASML深耕中國市場，推動中國乃至全球半導體行業(yè)共同發(fā)展的愿景。
ASML展臺首日迎來眾多專業(yè)觀眾
近年來，中國集成電路產業(yè)發(fā)展迅速，為了聚焦產業(yè)前沿方向，深化合作和開放理念，技術裝備展區(qū)首次設立了集成電路專區(qū)，而ASML便是在集成電路專區(qū)亮相。“近年來，中國集成電路行業(yè)發(fā)展十分強勁，增設集成電路專區(qū)有助于加強國內外集成電路產業(yè)間的交流，為加快構建新發(fā)展格局貢獻力量。” ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波表示，“今年是ASML第三次參加進博會。進博會持續(xù)展現了中國繼續(xù)擴大開放和推動創(chuàng)新的決心，ASML也正是抱著開放合作的態(tài)度多次參與進博會。我們希望能夠借助進博會的平臺進一步展示ASML領先的光刻解決方案和卓越的服務，深化與本土客戶的合作，與中國的半導體產業(yè)鏈共同成長，并為中國半導體行業(yè)培養(yǎng)和輸送優(yōu)秀人才。”
首次揭秘光刻機的內部世界
一直以來，ASML不斷精進光刻精度，推進摩爾定律前進。為了更好地展示ASML領先的光刻工藝，ASML在本屆進博會上首次通過3D裸眼視頻為觀眾分享光刻機的基本原理——光源經過照明模組投向掩模版，再穿過掩模版上的電路圖案，通過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。
此外，ASML還通過H5游戲的方式為觀眾帶來了線上“追光實驗室”，為參觀者打造了一座沉浸式體驗光刻原理的虛擬互動實驗室，從而體驗浸潤式光刻系統(tǒng)與雙晶圓工作臺等尖端前沿的光刻技術。
展示“鐵三角”光刻全方位解決方案
1984年以來，ASML的光刻解決方案在微小的世界中實現了巨大的飛躍，通過硬件、軟件相結合，ASML提出了全方位的光刻解決方案，以先進控制能力的光刻機臺，計算光刻和電子束量測，通過建模、仿真、分析等技術，不斷提高邊緣定位精度，持續(xù)賦能每一代芯片的制造，提高芯片生產的良率和產能。
在ASML的計算光刻解決方案中，機器學習和大數據將發(fā)揮突出的作用，實現對整個光刻和量測過程的高精度預測，幫助芯片制造商優(yōu)化制造流程，以最低的成本實現最高的性能。而量測檢驗系統(tǒng)將通過使用多個電子束快速測量晶圓上的所有數據點，幫助芯片制造商有效地控制芯片缺陷率。
推動半導體行業(yè)不斷突破極限，促進行業(yè)人才發(fā)展
近年來，隨著5G、人工智能和物聯網的發(fā)展，對于更智能、更小、更快、更節(jié)能的芯片的追求推動著半導體行業(yè)加速前進。自1988年向中國提供第一臺光刻機開始，ASML便與中國深深結緣。2000年， ASML中國正式成立。為了不斷滿足中國半導體行業(yè)的發(fā)展需求，更好地支持和服務本土客戶，ASML還于近期著手建設本地維修和軟件研發(fā)能力。
沈波表示：“半導體是一條高度全球化的產業(yè)鏈，開放合作是最核心的行業(yè)發(fā)展理念，ASML的光刻機也依賴于半導體產業(yè)全球合作生產。中國的半導體行業(yè)正進入快速發(fā)展的新階段，對創(chuàng)新的光刻解決方案和優(yōu)秀人才的需求與日俱增。”
作為行業(yè)領導者，ASML也加快為中國半導體行業(yè)持續(xù)分享經驗并培養(yǎng)技術研發(fā)人才。一直以來，ASML在中國持續(xù)踐行企業(yè)社會責任，牽手公益基金開展各類項目助力青年科技人才培養(yǎng)；2018年，ASML在上海成立了全球培訓中心，加深了本土光刻人才的發(fā)展。2021年，ASML開放了大量軟硬件人才的職位，覆蓋全方位光刻解決方案的各塊業(yè)務。秉承驅動半導體各種創(chuàng)新應用幫助解決人類生活中的各種挑戰(zhàn)，ASML攜手業(yè)內人士、客戶和行業(yè)伙伴共同拓展光刻技術的邊界，為實現人類更智慧、更美好的生活賦能。
關于ASML阿斯麥光刻
總部位于荷蘭的ASML是全球芯片制造設備領導廠商，并且是芯片光刻技術的領導者。我們的愿景是驅動半導體的各種應用來幫助解決人類生活中各種挑戰(zhàn)。為了實現這個目標，我們提供創(chuàng)新的產品和服務來幫助芯片制造商不斷微縮芯片。我們不斷提高產品的性能，以幫助客戶持續(xù)提升芯片價值并降低成本。我們致力于讓芯片的性能更強大、價格更合理，進而促使半導體技術能更廣泛的應用于醫(yī)療、能源、通訊和娛樂等相關產品與服務中。
30多年來，ASML的成功來自于和客戶及供貨商緊密合作所共同創(chuàng)造的領先技術、高效能的流程和優(yōu)秀的員工。ASML在全球16個國家的60個城市設有辦公室，員工超過29000，包括中國員工1000多名。ASML為荷蘭阿姆斯特丹證券交易所和美國NASDAQ上市公司。
